Durchfluss Sensor Serie FSM3

Der Durchflusssensor der Serie FSM3 von CKD ist speziell für die Gasflussmessung in der Halbleiter-, Biochemie-, Lebensmittel-, Pharma- und Prozessindustrie konzipiert. Mit einem Gehäuse aus Kunststoff und Edelstahl deckt er einen Durchflussbereich von 15 ml/min bis 1000 L/min ab. Der Sensor kann fünf verschiedene Gase sowie Gasmischungen messen und einstellen. Dank der MEMS-Sensortechnologie ist der Druckverlust minimal, während eine hohe Präzision und schnelle Reaktionszeit gewährleistet werden.