Vakuum messen, kontrollieren und regulieren

Messgeräte, die zur Messung von Drücken verwendet werden, die kleiner sind als der Normaldruck, nennt man Vakuummeter (Manometer --> bei Überdruck). Das Vakuummeter ist in der Lage, sehr kleine und präzise Drücke anzuzeigen. Dabei erfolgt die Messung des Drucks grundsätzlich nach einem der beiden folgenden Verfahren: Die direkte Druckmessung (Messung der flächenbezogenen Kraft) und die indirekte Druckmessung (Messung der Teilchenanzahldichte oder einer ihr proportionalen Größe). Bei niedrigen Drücken wird im Allgemeinen nur die indirekte Messung eingesetzt.