Präziser Prozessgas-Regler für stabile Halbleiterfertigung

Optimale Druck- und Durchflussregelung für einen sicheren und stabilen Produktionsprozess.
Der Prozessgasregler PGM von CKD überzeugt durch hervorragende Dichtleistung, minimale Hysterese und hohe Wiederholgenauigkeit. Er sorgt für stabile Prozesse durch präzise Druck- und Durchflussregelung der zugeführten Gase.
Dank optimaler Ventilsitzgestaltung und hochpräziser Fertigung werden Leckagen auf die Sekundärseite minimiert und eine zuverlässige Prozesskontrolle gewährleistet.
Merkmale:
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Uwe Kösser
Vetrieb Semiconductor & Maschinenbau & Energie
Englisch, Deutsch