CKD
Hochtemperatur-Prozessgasventil – Serie AGD
Hochbelastbares Prozessgasventil für höchste Anforderungen in der Halbleiterindustrie
Langlebige Prozessgasventile mit hoher Temperaturbeständigkeit und präzisem Schaltverhalten
Das CKD-Prozessgasventil der Serie AGD wurde für Anwendungen entwickelt, bei denen hohe Reinheit, Temperaturbeständigkeit und Langlebigkeit gefordert sind.
Es erfüllt die steigenden Anforderungen moderner Prozessgassteuerung in der Halbleiterfertigung und chemischen Industrie.
Die Ventile sind in drei Ausführungen erhältlich, um unterschiedliche Prozessbedingungen optimal abzudecken.
| Modell | Produktname | Fluidtemperatur | Lebensdauer (Istwert) | Bemerkungen |
|---|---|---|---|---|
| AGD**R-HD | Hochbelastbares Prozessgasventil | 5–80 °C | ≥ 30 Mio. Schaltungen | — |
| AGD**R-HDF | Hochtemperatur- / Hochbelastungsventil | 20–200 °C | ≥ 30 Mio. Schaltungen | — |
| AGD21R-A | Hochtemperatur- / Hochbelastungsventil | 150–200 °C | ≥ 100 Mio. Schaltungen | — |
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Uwe Kösser
Vetrieb Semiconductor & Maschinenbau & Energie
Englisch, Deutsch