Prozessgase sind hochreine Gase, die für spezifische Anwendungen mit besonderen Reinheitsanforderungen verwendet werden. Sie haben eine hohe Reinheit, oft über 99,999% (5.0) und können sogar noch höher, bis zu 8.0 (99,999999 Vol.-%) erreichen. Im Gegensatz zu Industriegasen werden Reinstgase speziell nachgereinigt, um diese hohen Reinheitsgrade zu erzielen.
Damit diese Reinheit auch wärend der Verarbeitung gewährleistet werden kann, werden spezielle Voraussetzungen an die eingesetzten Komponenten gestellt.
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