Vakuum-Druckregelsystem – Modell IAVB

Das IAVB-System kombiniert die Zuverlässigkeit eines herkömmlichen Hochvakuumventils mit der Möglichkeit, den Vakuumdruck präzise zu steuern. Es ermöglicht eine langsame und gleichmäßige Entgasung, die über normale ON/OFF-Ventile oder zweistufige Ablassventile hinausgeht.

Die integrierte Druckregelungsfunktion eliminiert die Notwendigkeit eines separaten Reglers oder variablen Lecks zur Druckanpassung im Vakuum. Das Poppet-Ventil-System mit O-Ring-Dichtung gewährleistet eine vollständig geschlossene Position, ein Vorteil gegenüber Klappenventilen. Wartung von Ventilen und elektrischen Komponenten ist getrennt möglich, was die Instandhaltung vereinfacht.

Merkmale:

• Präzise Druckregelung im Hochvakuum ohne zusätzlichen Regler
• Gleichmäßiges, langsames Ablassen des Vakuums
• Poppet-Ventil-System für vollständig geschlossene Position
• Separate Wartung von Ventilen und elektrischen Komponenten
• Ideal für Pre- und Post-Process Halbleiterfertigungsprozesse