Regler für Prozessgas – Modell PGM
Regler für Prozessgas – Modell PGM
CKD

Regler für Prozessgas – Modell PGM

Präziser Prozessgas-Regler für stabile Halbleiterfertigung

CKD

Optimale Druck- und Durchflussregelung für einen sicheren und stabilen Produktionsprozess.

Der Prozessgasregler PGM von CKD überzeugt durch hervorragende Dichtleistung, minimale Hysterese und hohe Wiederholgenauigkeit. Er sorgt für stabile Prozesse durch präzise Druck- und Durchflussregelung der zugeführten Gase.

Dank optimaler Ventilsitzgestaltung und hochpräziser Fertigung werden Leckagen auf die Sekundärseite minimiert und eine zuverlässige Prozesskontrolle gewährleistet.

Merkmale:

  • Optimale Ventilsitzgestaltung und hochpräzise Fertigung für minimale Leckage
  • Hochpräzise Mikroflussregelung für stabile und gleichmäßige Gaszufuhr
  • Reduzierte Hysterese – exaktes Erreichen des Soll-Drucks
  • Hochwertige Materialien für maximale Prozesssicherheit
  • Stabile Steuerung auch bei sehr kleinen Durchflussraten

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Uwe Kösser

Vetrieb Semiconductor & Maschinenbau & Energie

Englisch, Deutsch