Pneumatisches Ventil mit integrierter Tropfverhinderung
Serie AMDS
Kompaktes Ventil mit integrierter Tropfverhinderung – präzise Steuerung und zuverlässiger Schutz in chemischen Prozessen.
Das pneumatische Ventil der Serie AMDS kombiniert Ventil- und Tropfverhinderungsfunktion in einer kompakten Bauweise.
Es gewährleistet präzise Entleerung und verhindert zuverlässig Tropfenbildung, die zu Problemen wie ungleichmäßiger Chemikalienabgabe auf Wafern führen kann.
Die Serie unterstützt kundenspezifische Anpassungen entsprechend der Viskosität des Mediums und ermöglicht durch die kompakte Bauweise eine reduzierte Rohrleitungsinstallation und vereinfachte Integration.
Einsatzbereich:
-
Halbleiterfertigungsprozesse (Vorprozess)
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Chemische Flüssigkeitsmanagementsysteme
| Modell Nr. | Produkttyp | Maximale Tropfverhinderungsmenge | Anschlussgröße (Rohr-Außendurchmesser / Gewindedurchmesser) | Verbindung | Bemerkung |
|---|---|---|---|---|---|
| AMDSZ0 | Small Bore Size | 0,04 cm³ | 1/8", 3 mm | Super Type, Super 300, F-LOCK20 / 60 | – |
| AMDS00 | Medium Bore Size | 0,12 cm³ | 1/8", 1/4", 6 mm, 6,35 mm | Super Type, Super 300, F-LOCK20 / 60, Final Lock, Flaretek | – |
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Uwe Kösser
Vetrieb Semiconductor & Maschinenbau & Energie
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