Autonomes 7-Linien Spülsystem

BIBUS entwickelte und produzierte in Zusammenarbeit mit seinen Partnern ein autonomes 7-Linien Spülsystem. Das System wird beim Kunden an dessen Prüfplätzen für seine Lasersysteme, welche er in die Halbleiter-Industrie liefert, eingesetzt.

Autonomes 7-Linien Spülsystem

Ein Hersteller von Lasersysteme für die Halbleiterproduktion stand vor einer wachsenden Herausforderung bei seinen System-Prüfplätzen. Der Medienwechsel innerhalb seiner zu prüfenden Laser-Anlage, führten instabile Luft- und Stickstoffströme zu Druckspitzen, unkontrollierten Prozessbedingungen und erhöhtem Bedienaufwand – mit direkten Auswirkungen auf Effizienz und Sicherheit.

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Die Herausforderung

Die Medienversorgungsanlage musste folgende Anforderungen erfüllen:

  • Partikelfreie Medienführung
  • Großes zu füllendes Volumen (40 m³)
  • Einhaltung niedriger Betriebsdrücke (≤ 30 mbar)
  • Messbarkeit von Zu- und Abfluss aus der Laseranlage
  • Einfache Bedienbarkeit und Wiederholgenauigkeit
  • Kompakte Bauweise und Anpassung an verschiedene Anlagentypen

Die Lösung

BIBUS entwickelte gemeinsam mit Partnern ein autonomes, modular ausbaubares Spülsystem:

  • SPS-gesteuertes Purge-Panel mit bis zu sieben Linien
  • 4 Betriebsmodi (N2-Purge, CDA-Purge, Night-Mode, Stopp-Purge)
  • Jede Linie mit eigenen Mess- und Regeleinheiten und eigener Sollwertvorgabe
  • Sauerstoffgehaltsmessung zur Arbeitssicherheit in der Abluft
  • Touchpanel-Bedienung, Signaltower und Fernüberwachung
  • Vorkonfiguration auf fünf Anlagentypen, manueller Betrieb möglich
  • CE-Zertifikat und prototypische Erprobung mit anschließender Serieproduktion

Der Mehrwert

Die neue Lösung brachte klar messbare Vorteile:

  • Arbeitszeiteinsparung durch intuitive Bedienung
  • Schnelle Fortschrittskontrolle des Medienaustausches über O₂-Anzeige
  • Medienüberwachung direkt an der Prüfanlage
  • System mit Erweiterungspotenzial zur Optimierung der Spülzeiten
  • Sicherer, autonomer Dauerbetrieb
  • Zusätzliches Verkaufsobjekt für die Anlagenkunden des Kunden
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Individuelle Systeme für jede Herausforderung

Wir bieten maßgeschneiderte System- und Sonderlösungen, die exakt auf die Individuellen Bedürfnisse unserer Kunden abgestimmt sind.