Engineering-Lösung: Automatisiertes Purge-System für die Laser- und Halbleiterindustrie

Für einen führenden Hersteller von Lasersystemen realisierte BIBUS eine maßgeschneiderte Medienversorgungsanlage: Ein autonomes, SPS-gesteuertes 7-Linien Spülsystem. Diese Lösung sichert heute an weltweit eingesetzten Prüfständen stabile Prozessbedingungen und höchste Reinheit.

Die Ausgangslage: Prozessunsicherheit durch instabile Medienströme

Ein Hersteller von High-End-Lasersystemen stand vor einer kritischen Herausforderung an seinen System-Prüfplätzen. Der manuelle Medienwechsel innerhalb der zu prüfenden Laser-Anlagen verursachte instabile Luft- und Stickstoffströme.

Die konkreten Probleme ("Pain Points"):

Gefährliche Druckspitzen im System.
Unkontrollierte Prozessbedingungen bei der Gasversorgung.
Hoher manueller Bedienaufwand und Sicherheitsrisiken für das Personal.

Gesucht wurde eine intelligente Fluidtechnik-Lösung, die Effizienz und Prozesssicherheit garantiert.

Die Herausforderung

Partikelfreie Medienführung im Niederdruckbereich

Das neue Gasversorgungssystem musste extremen Anforderungen der Halbleiterfertigung gerecht werden:

Reinheit: Absolute partikelfreie Medienführung.
Volumen: Schnelle Spülung eines Volumens von 40 m³.
Präzision: Einhaltung niedriger Betriebsdrücke (≤ 30 mbar) ohne Schwankungen.
Monitoring: Exakte Messbarkeit von Zu- und Abfluss aus der Laseranlage.
Flexibilität: Kompakte Bauweise, adaptierbar auf verschiedene Anlagentypen.

Die Lösung

Ein modulares N2-Purge-Panel

In enger Zusammenarbeit mit Partnern entwickelte das BIBUS Engineering-Team ein autonomes Spülsystem, das modular erweiterbar ist. Kernstück ist ein SPS-gesteuertes Purge-Panel, das bis zu sieben Linien unabhängig regelt.

Technische Highlights der Systemlösung:

4 intelligente Betriebsmodi: N2-Purge (Stickstoff), CDA-Purge (Druckluft), Night-Mode und Stopp-Purge.
Einzelregelung: Jede Linie verfügt über eigene Mess- und Regeleinheiten inkl. individueller Sollwertvorgabe.
Sicherheit: Integrierte Sauerstoffgehaltsmessung (O2) zur Überwachung der Abluft.
Steuerung: Intuitive Touchpanel-Bedienung, Signaltower und Option zur Fernüberwachung.
Compliance: CE-Zertifizierung, prototypische Erprobung und Überführung in die Serie.

Der Mehrwert

Prozessstabilität und Effizienzsteigerung

Durch den Einsatz des neuen automatisierten Spülsystems konnte der Kunde seine Prüfprozesse signifikant optimieren:

Zeitersparnis: Intuitive Bedienung reduziert Rüstzeiten drastisch.
Qualitätssicherung: O₂-Anzeige ermöglicht die genaue Kontrolle des Medienaustausches.
Skalierbarkeit: Das System ist für weitere Linien ausbaubar.
Autonomie: Sicherer Dauerbetrieb ohne ständiges manuelles Eingreifen.

Fazit: Aus einer Problemstellung wurde ein neues Verkaufsobjekt. Das System wird heute nicht nur intern genutzt, sondern als Zubehör an die Endkunden weiterverkauft.