BIBUS unterstützt Maschinenbauer, Chipproduzenten und Reinstmedienlieferanten mit präzisen, langlebigen Komponenten für eine sichere und stabile Medienführung – damit Halbleiterprozesse zuverlässig, effizient und nachhaltig laufen.
Die Anforderungen in der Halbleiterfertigung sind extrem hoch: Reinstgase und Chemikalien müssen unter strengsten Reinheits- und Sicherheitsbedingungen geführt werden, während Yield-Raten, Anlagenverfügbarkeit und Energieeffizienz kontinuierlich steigen sollen. Jede Undichtigkeit, jede Verunreinigung und jede Schwankung im Prozess kann Ausschuss erzeugen und hohe Kosten verursachen.
BIBUS kombiniert hochwertige Reinstmedien-Ventile mit Systemkompetenz, um Prozesssicherheit, Effizienz und technologische Weiterentwicklung in der Halbleiterfertigung messbar zu unterstützen.
🧪 Prozessreinheit & Ausbeute
Schon kleinste Verunreinigungen oder Leckagen können ganze Wafer-Lose unbrauchbar machen – absolute Dichtheit und Medienreinheit sind entscheidend für stabile Yield-Raten.
🔐 Sicherheit im Umgang mit Chemikalien und Gasen
Aggressive, toxische oder reaktive Medien erfordern Komponenten, die dauerhaft sicher funktionieren und strenge Normen erfüllen.
⚙️ Effizienz & Anlagenverfügbarkeit
Rund-um-die-Uhr-Betrieb lässt wenig Raum für Stillstand – langlebige, wartungsarme Ventile und Systeme senken Betriebs- und Wartungskosten.
🚀 Technologische Weiterentwicklung
Neue Strukturen, Materialien und Prozesse (z. B. EUV, 3D-Architekturen) verlangen präzisere, flexiblere Komponenten, die auch zukünftige Anforderungen abdecken.
Unsere Lösungen für die Halbleitertechnik vereinen Ventiltechnik, Reinstmedienhandling, Druck- und Durchflussregelung sowie geeignete Verbindungstechnik zu einem abgestimmten Gesamtsystem – von der sicheren Medienführung bis zur stabilen Prozessversorgung in kritischen Fertigungsschritten.