BIBUS unterstützt Maschinenbauer, Chipproduzenten und Reinstmedienlieferanten mit präzisen, langlebigen Komponenten für eine sichere und stabile Medienführung – damit Halbleiterprozesse zuverlässig, effizient und nachhaltig laufen.
Die Anforderungen in der Halbleiterfertigung sind extrem hoch: Prozessgase und Chemikalien müssen unter strengsten Reinheits- und Sicherheitsbedingungen geführt werden, während Yield Raten, Anlagenverfügbarkeit und Energieeffizienz kontinuierlich steigen sollen. Jede Undichtigkeit, jede Verunreinigung und jede Schwankung im Prozess kann Ausschuss erzeugen und hohe Kosten verursachen.
BIBUS kombiniert hochwertige Reinstmedien-Ventile mit Systemkompetenz, um Prozesssicherheit, Effizienz und technologische Weiterentwicklung in der Halbleiterfertigung messbar zu unterstützen.
🧪 Prozessreinheit & Ausbeute
Schon kleinste Verunreinigungen oder Leckagen können ganze Wafer-Lose unbrauchbar machen – absolute Dichtheit und Medienreinheit sind entscheidend für stabile Yield Raten.
🔐 Sicherheit im Umgang mit Chemikalien und Gasen
Aggressive, toxische oder reaktive Medien erfordern Komponenten, die dauerhaft sicher funktionieren und strenge Normen erfüllen.
⚙️ Effizienz & Anlagenverfügbarkeit
Rund-um-die-Uhr-Betrieb lässt wenig Raum für Stillstand – langlebige, wartungsarme Ventile und Systeme senken Betriebs- und Wartungskosten.
🚀 Technologische Weiterentwicklung
Neue Strukturen, Materialien und Prozesse (z. B. EUV, 3D-Architekturen) verlangen präzisere, flexiblere Komponenten, die auch zukünftige Anforderungen abdecken.
In der Halbleitertechnik sorgt BIBUS für stabile Nassprozesse, wenn höchste Reinheit zählt. Mit einer kompakt abgestimmten Systemlösung wird die Chemikalienführung in der Wafer-Fertigung deutlich präziser – für weniger Partikel, höhere Yield und maximale Prozesssicherheit im Dauerbetrieb.
Zum vollständigen Use Case
Unsere Lösungen für die Halbleitertechnik vereinen Ventiltechnik, Reinstmedienhandling, Druck- und Durchflussregelung sowie geeignete Verbindungstechnik zu einem abgestimmten Gesamtsystem – von der sicheren Medienführung bis zur stabilen Prozessversorgung in kritischen Fertigungsschritten.